- 珀尔帖元件冷却测量
- 取代传统热交换方法，消除低沸点化学品沸腾风险
- 闭环反馈控制
- 压电驱动阀 + 内部比较控制回路，实时自动调节阀门开度
- 微小流量高精度控制
- 可实现从微升到超低流量的高精度控制
- 适用于高粘度液体
- 支持最大粘度 0.1 Pa·s (100 cP)
LTC 系列数字式液体质量流量控制器专为半导体及高精度化学工艺中的微小流量控制而设计。采用珀尔帖元件冷却液体的测量方式，从根本上消除低沸点化学品在测量过程中沸腾的风险。
LTC 型号在流量计基础上集成了压电驱动阀与内部比较控制回路，通过实时比较设定信号与输出信号并自动调节阀门开度，形成闭环反馈系统，实现从微升到超低流量的高精度控制，适用于高粘度液体材料。
详细规格
测量和控制
| 测量原理 | 珀尔帖元件冷却, ΔT 温升检测 |
|---|---|
| 介质类型 | 可配置 |
| 液体粘度 | 最大 0.1 Pa·s（100 cP） |
| 满量程流量 | 0.02/0.05/0.1 g/min, 0.2/0.5 g/min, 1/2/5 g/min, 10/20 g/min, 50/100 g/min |
| 控制范围 | 5-100% F.S. |
| 准确度 | ±1.0% F.S. |
| 直线性 | ≤ ±0.5% F.S. |
| 温度敏感度 | ±0.1% F.S./℃ max: 1% |
机械部件
| 接液材质 | SUS 316L |
|---|---|
| 控制方式 | 压电驱动阀 + 内部比较控制回路（闭环反馈） |
| 阀类型 | 常闭 |
| 泄漏率 | ≤ 5×10⁻¹² Pa·m³/s (He) |
| 工艺连接 | 1/16" 卡套, 1/8" 卡套, 1/4" 卡套, 1/8" VCR, 1/4" VCR |
压力与温度
| 耐压等级 | 1 MPa(A) |
|---|---|
| 工作压力 | 0.05-0.3 MPa(A) |
| 工作压降 | ≤ 30 kPa(D) |
| 工作温度 | 5-50 ℃ |
电气特性
| 电源 | +9-36 VDC |
|---|---|
| 通信协议 | 模拟信号, RS-485 |
| 电气接口 | 9-min D-Sub (模拟信号和供电), RJ-45 (RS-485) |
选型支持
提交使用场景、介质或样品、接口与控制要求，我们将依据已发布资料协助核对可用配置。
可核对的已发布信息：珀尔帖元件冷却测量、闭环反馈控制、微小流量高精度控制、适用于高粘度液体
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